規格與說明:

爐內氧濃度為100ppm以下的有機EL（OLED）用電爐。 相較使用氮氣之製程降低更多生產成本。

可用於有機EL製造工序中的ITO結晶化、有機膜固化、密封材料固化、基板表面乾燥、面板耐久性試驗等各種用途。


●多路徑給器氣系統和改進的爐膛密閉性使爐內氧氣濃度小於100ppm

●通過加熱器表面的電解著色處理有效地產生紅外波長

●Hot Wall爐體結構使整個爐膛成為遠紅外線浴槽（IR BATHE）（G4.5以下）

●高可維護性

1. 腔體內部平坦，易於清潔

2.支撐架裝卸方便

3. 從後門輕鬆進入爐子

●基板支撐材料是特殊的耐熱樹脂材料，即使在高溫環境下也不會劣化

●抑制不均勻烘烤(Mura)的結構

●Idle Mode功能（自動切斷給氣和排氣）減少供氣和電耗

●昇華回收裝置保持廢氣清潔

●使用Ionizer（靜電bar）在 2 秒內去除靜電