太陽能板用電氣爐 SBF series

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SOLAR SBF-SERIES

規格與說明:

最高使用溫度為1,050℃、溫度精度為±2℃的晶圓型太陽能電池用電爐。
採用傳送帶傳送系統，具有加熱和冷卻部分一體化的結構。



●送帶傳送方式
●一體化加熱/冷卻結構
●對應各種方形和圓形工件尺寸


基板尺寸：6×6inch　　板厚：0.2mm
加熱方式：IR lamp heater
對應溫度：〜MAX1,050℃、温度精度±2℃以内
處理能力：Wafer MAX 1,800 sheets/hour